電動回転保管庫トップ メディカル関連 厨房関連 工場関連 半導体関連 特殊機

半導体関連装置トップ レチクルストッカー 移載装置 保管棚 その他

新開発関連トップ セキュリティ関連 映像関連 先端技術開発 スタンド・カウンター その他

製品導入後のお客様の声をお聞きしました！！

《 移 載 装 置 》

半導体関連装置[ 移載装置 ]

使いやすいタッチパネルコントローラー ジョイスティックで検査時のマニュアル操作が可能 システム内部 SMIFユニット ガラス面とペリクル面の両面の検査を行います。 目視検査ユニット

>>マスクチェンジャーシステム（移載装置）の製品紹介

【対象レチクル】
6インチ

【対象ケース】
納入ケース（マスクメーカーから納品されるケース）
各種ステッパーケース
SMIFポッド（MONOおよびMULTI）

【ユニット】
納入ケースユニット
ステッパーケースユニット
SMIFユニット
移載ロボットユニット
目視検査ユニット


【標準モデル】
本体サイズ：幅1200�o×高さ2200�o×奥行1150�o
対象レチクル：6インチ　片面ペリクル
対象ケース：納品ケース
　　　　　　　　ステッパーケース
機能：納品ケースとステッパーケース間の移載
　　　　目視検査ユニットによる検査
　　　　オート／マニュアルブロー