半導体関連装置・レチクルストッカーの開発設計と製造/株式会社タイメック
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半導体関連装置[ レチクルストッカー ]
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半導体関連装置[ レチクルストッカー ]



【仕様】
◆7100シリーズ
◆収納物:マスク・レチクル等(クラス10以下)

【利点・機能】
◆タッチパネルディスプレイ付きのパネルコンピュータを装備し、スタンドアロンでレチクルの入出庫、
  履歴管理などを行います。さらに、オンラインシステムでトータルのレチクル管理を行います。

 

KESステップ2認証
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