《 レチクルストッカー 》

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半導体関連装置[ レチクルストッカー ]

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【仕様】
◆7100シリーズ
◆収納物：マスク・レチクル等（クラス10以下）

【利点・機能】
◆タッチパネルディスプレイ付きのパネルコンピュータを装備し、スタンドアロンでレチクルの入出庫、
　 履歴管理などを行います。さらに、オンラインシステムでトータルのレチクル管理を行います。