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《 レチクルストッカー 》

半導体関連装置[ レチクルストッカー ]

標準モデル 全高 横幅 奥行（*1） 棚数 収納数（*2） 71106L-310・D1 2605�o 3060�o 700�o 10段 700ケース 71126L-310・D1 2795�o 3060�o 700�o 12段 840ケース 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（*1）本体部のみ　（*2）6インチレチクルケースの場合

>>レチクルストッカー

【レチクルストッカー　7100シリーズ】
・大量保管と集中保管を可能にした、スタンダードタイプ
・レチクル・マスクサイズを選ぶことなく、定位置検索を一括管理を行います。
・設置場所に応じて、ストッカーサイズのカスタマイズが可能です。